作者： 单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 出版：《中国光学》2002年第03期 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZGGA2002030720 DOC编号：DOCZGGA2002030729 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • TN15 2002032210DNA检测用光电管的研制=Research and fabricationof phototransistors for DNA analysis[刊，中]/李和太，孟丽囡(沈阳工业大学信息科学与工程学院.辽宁，沈阳(110023))，李慧芳(东北制药总厂计算中心.辽宁，沈阳(110026))//仪表技术与传感器.-2001，(10).-31-32，35微电子技术已渗透到许多领域，集成纳米级DNA分析系统就是微电子技术与分析化学结合的产物。其中荧光检测器是由集成电路工艺制成的一列光电管组成。检测用荧光的波长为515nm，硅光电管对此波长的光响应比较小，为了提高光电管的响应灵敏度，用硼离子注入制成浅BC结。为了防止等离子体刻蚀损伤硅

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