《静电悬浮式三轴加速度传感器的初步设计》PDF+DOC
作者:唐富荣,薛大同
单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版:《传感器与微系统》2001年第07期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGQJ2001070080
DOC编号:DOCCGQJ2001070089
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从静电悬浮式加速度传感器的工作原理出发 ,针对航天器上的微重力水平 ,初步设计了高灵敏静电悬浮式加速度传感器 ,其测量量程设计为 30 μgn,分辨力为 1ngn,并对其误差来源及减少误差的措施进行了分析。
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