作者：武金亮,周琦,高晓宇,胡梦晴,秦东林 单位：中国科技信息研究所 出版：《通讯世界》2015年第04期 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFTXSJ2015041380 DOC编号：DOCTXSJ2015041389 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 随着我国科技的不断进步，MEMS传感发展迅猛，在各个领域内得到广泛应用。再次情况下，本文阐述了MEMS技术的特点，分析了其在各领域内的具体应用情况，并对MEMS传感器的发展趋势进行了展望。

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