作者：周闵新,秦明,黄庆安 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2001年第11期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2001110010 DOC编号：DOCYBJS2001110019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • CMOS集成电容绝对压力传感器是基于集成电路主流工艺集成的新型传感器 ，克服了传统传感器的缺点并利于批量生产。介绍了传感器的原理、结构及处理电路 ，并对微系统集成的概念及生产工艺进行了讨论 ，对传感器的应用前景及领域进行了展望与预测。

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