《平面电极型MEMS电化学地震传感器》PDF+DOC
作者:王军波,龚黎明,陈德勇,何文涛,王鹏,陈健
单位:中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会
出版:《光学精密工程》2015年第03期
页数:7页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFGXJM2015030220
DOC编号:DOCGXJM2015030229
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针对传统电化学地震传感器的加工工艺成本高、一致性差等问题,设计了一种新的平面电极型微机电系统(MEMS)电化学地震传感器结构。建立了平面电极型MEMS电化学地震传感器的计算模型,通过Comsol多场耦合数值模拟分析方法,对影响传感器的结构参数如:电极宽度、电极间距、流道高度等进行了计算和优化。采用MEMS表面工艺和准LIGA工艺,制备了平面电极型MEMS电化学地震传感器。最后,与采用传统方法精密加工的MET2003器件进行了频率响应和微震动的对比测试。实验结果表明:与MET2003器件相比,平面电极型MEMS电化学地震传感器的带宽从1Hz扩展到了30Hz,两种器件的采集结果具有很好的相关性和一致性,相关系数为0.887,在1Hz处的噪声低于120dB。
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