作者：谢国章 单位：中国科学院成都文献情报中心 出版：《》 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFSJKF2001030050 DOC编号：DOCSJKF2001030059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文叙述微机电系系统传感器的设计制造技术和主要应用

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