作者:张嘉琪,胡馨升,陈培飞,周艳,关文玲 单位:沈阳仪表科学研究院有限公司 出版:《仪表技术与传感器》2015年第02期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFYBJS2015020020 DOC编号:DOCYBJS2015020029 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 主要介绍了纳米TiO2修饰的QCM(Quartz Crystal Microbalance)气体传感器的制备与测试。在石英晶振片表面制备纳米TiO2敏感膜,构成QCM氨气传感器。检测系统为自主研发的基于LabVIEW平台的QCM气体传感器频率测试软件。检测氨气的体积分数为1×10-5~5×10-5,响应时间均在10 s以内,响应最大频差值与氨气浓度呈现良好的线性关系,相关系数为0.999 4。室温条件下,纳米TiO2敏感膜可以完全实现吸附解吸过程,具有可逆性。该传感器性能稳定,响应灵敏,具有重复性。

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