作者：张泰华,杨业敏,赵亚溥,白以龙 单位：中国科学院力学研究所;中国力学学会 出版：《力学进展》2002年第04期 页数：18页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFLXJZ2002040090 DOC编号：DOCLXJZ2002040099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 微电子机械系统（MEMS）技术的迅速崛起，推动了所用材料微尺度力学性能测试技术的发展.首先按作用方式将实验分成压痕/划痕、弯曲、拉伸、扭转四大类，系统介绍检测MEMS材料微尺度力学性能的微型试样、测试方法及其实验结果.测试材料主要有硅、氧化硅、氮化硅和一些金属.实验结果主要包括基本的力学性能参数如弹性模量、残余应力、屈服强度、断裂强度和疲劳强度等.最后，简要分析了未来的发展需求。

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