作者：曲东升,孙立宁,王建国,秦昌 单位：中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版：《压电与声光》2002年第06期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYDSG2002060240 DOC编号：DOCYDSG2002060249 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 利用压电陶瓷致动器作为驱动元件设计了X-Y两自由度精密定位工作台，并利用有限元分析法对机构进行了优化设计，采用电阻应变片作为微位移检测传感器，在此基础上设计了闭环控制器，该控制器包括压电陶瓷驱动单元、微位移传感器检测单元和中央处理单元，最后利用PID控制法进行了闭环控制实验研究。实验结果表明，本系统具有较好的控制品质和优异的动态性能，在对10μm&#215；10μm两自由度工作台的控制中，闭环控制精度达10nm，阶跃响应的稳定时间小于8ms。

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