作者：王文达,高翻琴,刘建霞 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2016年第03期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2016030090 DOC编号：DOCBDTQ2016030099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 采用水热法合成了不同质量分数Co掺杂ZnO纳米结构，利用扫描电子显微镜(SEM)、能谱仪(EDS)和X射线衍射仪(XRD)对其表面形貌、元素种类和物相结构进行了分析和表征。制备出了基于不同量Co掺杂的ZnO气体传感器，并研究了Co掺杂ZnO气体传感器对甲烷的气敏特性。实验结果表明，在最佳工作温度(140℃)下，质量分数2%Co掺杂ZnO气体传感器对体积分数为10-4甲烷气体的最高灵敏度可达3.55，最低检测极限为5&#215；10-8，并且响应时间和恢复时间分别为19和27 s。这表明Co掺杂ZnO气体传感器在实现对低浓度甲烷气敏检测方面具有较好的潜在应用价值。

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