作者：徐新行,王恒坤,韩旭东,王兵,高云国 单位：中国仪器仪表学会 出版：《仪器仪表学报》2015年第09期 页数：8页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYQXB2015090030 DOC编号：DOCYQXB2015090039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 为了实现机载小型化FSM的闭环控制，设计了一款小体积、高精度、高环境适应性的微位移测量传感器。首先根据位移传感器的技术原理和机载FSM的应用需求，提出了微位移测量传感器的主要设计指标。然后，分别对微位移测量传感器的发光元件、密珠滑轨、测量光栅和接收元件等进行了详细设计与选择。其中，高精度密珠滑轨的采用不仅减小了测量过程中的附加阻力，而且使光栅副的运动更加精准；光栅副通光窗口的引入、独特零件编码的设计、裂相法信号提取方式的采用，保证了微位移测量传感器的高低温性能。最后，针对微位移测量传感器在机载小型化FSM上的应用效果进行了理论分析与实验检测。结果显示：机载小型化FSM的方位指向误差不超过3.4″，俯仰指向误差不超过3.8″，证明了专用型微位移测量传感器高精度、高分辨力和高响应速度的技术特点，满足机载小型化FSM的应用需求。

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