作者：杨圣,曲扬铭,张丽敏 单位：东南大学出版社有限责任公司 出版：《机械设计与制造工程》2002年第01期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJXZZ2002010250 DOC编号：DOCJXZZ2002010259 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 纳米工作台在纳米技术领域、超大规模集成电路制造和超精密工程中有着广泛的应用前景。现重点介绍Queensgate纳米工作台的关键技术 ，并对其相关的理论问题、工作原理和技术思想进行了必要的补充

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