《Consensic推出MEMS电容式压力传感器》PDF+DOC
作者:
单位:上海科技文献出版社
出版:《机电一体化》2011年第10期
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PDF编号:PDFJDTH2011100050
DOC编号:DOCJDTH2011100059
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美国Consensic公司推出革命性新型微机电(MEMS)智能电容式压力传感器CPS120,是全世界唯一一家数字式MEMS电容式压力传感器的厂商。CPS120智能压力传感器基于系统级封装解决方案(SIP),包含超小型电容式MEMS绝对压力传感单元,同时集成智能高精度数字电路(ASIC)和温度传感器。相比其他压力传感器厂商传统的压阻式(PRT)绝对压力传感器,
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