作者：刘晓斌 单位：甘肃省机械科学研究院 出版：《机械研究与应用》2002年第01期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJXYJ2002010320 DOC编号：DOCJXYJ2002010329 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 系统分析了微机电系统的概念、特点及国内外先进的微机电系统的典型器件和典型系统 ，微机电有别于其它制造业的独特的加工工艺 ，以及微机电系统在当今社会的各个领域的广泛应用。介绍了我国在发展微机电系统所做的努力。提出我国必须走研究与应用并重的道路 ，使微机电系统的研究走向产业化 ，才能为我国在微电子工业的第二轮国际竞争中争取到应有地位

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