作者：张海涛,张斌 单位：中国电子学会;中国电子元件行业协会 出版：《电子元件与材料》2002年第04期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZAL2002040090 DOC编号：DOCDZAL2002040099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 微电子机械系统技术的特点是可使制品微型化、集成化并以硅作为加工材料。该技术可分为体微机械加工、表面微机械加工、金属微机械加工和复合微机械加工四类。所采用的基础技术主要有：腐蚀技术、硅键合技术、多层无应力薄膜沉积技术、牺牲层技术、LIGA技术以及以上技术的复合，该项技术应用广泛。本文重点介绍在微传感器、微电机、机械滤波器和谐振滤波器等方面的应用，并探讨了发展方向。

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