《微电子机械系统(MEMS)及其应用的研究》PDF+DOC

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2. 《微型机电系统技术及其21世纪应用展望》PDF+DOC 当前人们在向宏观世界不断进军的同时，也在向微观世界发起冲击。人们不断地致力于微型装置的研究制造与开发利用。微米／纳米技术（micro／nanotechnology）以及在此基础上发展起来的微型机电系统（micro－electro-mechanicalsystems，MEMS）制造技术，将有可能成为2......
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5. 《微型机械及其发展》PDF+DOC 一、引言人类在进行宏观世界以及微小领域的研究开发中，对机电工具和设备，在解决高强度、大功率、大型化的同时，也提出了高精度、低耗能、小型化的要求。80年代后期，利用半导体集成电路工艺在硅片上制作的微传感器和微执行器的问世，引发了尺寸在毫米级以下的微型机械研究的兴起。1987年，加州大学伯克利分校研制出......
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