作者：陈尚,曹晓瑞,陈永强,刘涛,张家雄 单位：北京信息科技大学 出版：《传感器世界》2014年第12期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGSJ2014120020 DOC编号：DOCCGSJ2014120029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《MEMS三维微力探针传感器设计及性能测试》PDF+DOC2011年第03期 王伟忠,赵玉龙,林启敬 《纤毛式MEMS矢量水声传感器的仿生组装》PDF+DOC2009年第03期 张国军,陈尚,薛晨阳,张斌珍,张开瑞 《2.4GHz微功率无线MEMS传感器基本安全性能要求》PDF+DOC2016年第06期 陈得民 《基于MEMS传感器的人体运动行为追踪研究》PDF+DOC2017年第07期 杨沛 《MEMS传感器结合激光测距在汽车物联网中应用研究》PDF+DOC2017年第09期 孙兴春 《基于MEMS传感器的风洞尾旋姿态测量研究》PDF+DOC2016年第12期 宋晋,蒋敏,李睿,杨洪森,颜来 《基于MEMS传感器的体操动作识别》PDF+DOC2020年第03期 孙佳亨,孟晓亮,梁豪,段洪君,詹志坤 《三维微力探针传感器技术研究》PDF+DOC2009年第02期 王鑫垚,吴伟,林启敬,赵玉龙 《用于微摩擦测试的微力传感器及其制作》PDF+DOC2004年第03期 黎海文,吴一辉,李也凡,张平,王淑荣,贾宏光 《基于MEMS传感器的TPMS系统开发与实现》PDF+DOC2013年第04期 陆宇,沈立,陈建广,陈宏铭,程玉华

    • 首次综合国内外纤毛式MEMS传感器的研究成果，分别介绍了基于纤毛仿生原理的三维微触觉传感器、三维微力传感器、微声传感器、水流传感器、微几何测量传感器以及矢量水声传感器等。该类型传感器充分地将仿生学和MEMS技术结合起来，具有结构新颖精巧、体积小、功耗低、响应快、温漂小、精度高等优点，为开发具有自主知识产权的新型器件提供了新的思路。

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