作者：王晓冬,王庆,杨乃恒,陆阳,董文怀,巴德纯 单位：中国机械工业集团公司;沈阳真空技术研究所 出版：《真空》2002年第05期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZKZK2002050090 DOC编号：DOCZKZK2002050099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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