作者： 单位：信息产业部电子科学技术情报研究所 出版：《电子科技文摘》2002年第09期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDKWZ2002090270 DOC编号：DOCDKWZ2002090279 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • SPIE-Vol.4019 0217346SPIE 会议录，卷4019：微机电系统/微光学机电系统的设计、测试、集成与封装=Proceedings of SPIE，Vol.4019：Design，test integration and packaging of MEMS/MOEMS[会，英]/SPIE-The International Society forOptical Engineering.—596P.(E)本会议录收集了在法国 Paris 召开的微机电系统/微光学机电系统的设计、测试与封装会议上发表的69篇论文，内容涉及微机电系统的计算机辅助设计，MEMS 惯性传感器的行为模拟，微光学系统的设计优化，CMOS 压控振荡器设计，表面微加工 MEMS 中高级故障模拟，CMOS 磁场传感器，硅光集成电路。

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