作者：程秀兰,蔡炳初,徐东,王莉 单位：国家仪表功能材料工程技术研究中心;重庆仪表材料研究所;中国仪器仪表学会仪表材料学会 出版：《功能材料》2002年第06期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGNCL2002060070 DOC编号：DOCGNCL2002060079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 形状记忆合金 (SMA)薄膜因其特有的形状记忆合金效应、超弹性行为以及薄膜材料所特有的优越性能 ，而在微机电系统中的微驱动器和微传感器方面极具应用潜力。本文主要介绍了以TiNi基合金为主的形状记忆合金薄膜在微驱动器和微传感器上的国内外应用性研究现状 ，并展望了其未来的发展趋势。

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