作者：张元,李辉 单位：中科院成都化学所;中科院南京地理与湖泊所;成都翻译协会 出版：《中国西部科技》2015年第01期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFXBKJ2015010070 DOC编号：DOCXBKJ2015010079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • MEMS热式微流量传感器具有灵敏度高、量程宽、响应时间短等优点，在生化医疗等领域具有重要的实用价值和意义。本综述首先介绍了MEMS热式流量传感器的工作原理和基本结构，随后阐述了此类传感器的分类、发展历史与技术特性，最后展望了其今后的发展趋势和应用前景。

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