《8相位256×256衍射微透镜的设计与制作》PDF+DOC
作者:程志军,黄光,何苗,易新建
单位:中国科学院安徽光学精密机械研究所
出版:《大气与环境光学学报》2002年第01期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFGDJY2002010070
DOC编号:DOCGDJY2002010079
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介绍了衍射微透镜阵列的设计原理与制作工艺方法,在此基础上研制出适用于 3~5 μm波长256×;256 PtSi红外焦平面的 8相位 256×;256硅衍射微透镜阵列,阵列中微透镜的孔径为 50μm,透镜 F数为 f/2.5,微透镜阵列的中心距为 50μm。实测衍射效率大于 80%,能在红外波前传感器中较好应用。
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