作者：黄良甫,贾付云 单位：中国航天科技集团公司第五研究院510研究所 出版：《真空与低温》2002年第04期 页数：10页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZKDW2002040010 DOC编号：DOCZKDW2002040019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《MEMS技术的发展与应用》PDF+DOC2003年第01期 朱健 《关于微机电系统研究》PDF+DOC2003年第02期 温诗铸 《微机电系统的研究内容与发展现状》PDF+DOC2001年第06期 李国平,陈子辰 《跨世纪的新技术——微机电系统(MEMS)》PDF+DOC1999年第04期 张兴,郝一龙,李志宏,王阳元 《微机电系统的构成及其关键技术》PDF+DOC2005年第01期 杨红军,李刚炎 《体微加工技术在MEMS中的应用》PDF+DOC2005年第03期 林日乐,谢佳维,蔡萍,翁邦英,董宏奎,赵建华,王瑞,张巧云 《微机电系统的研究与展望》PDF+DOC2005年第01期 林忠华,胡国清,刘文艳,张慧杰 《微机电系统(MEMS)技术及其应用》PDF+DOC2002年第06期 魏强 《微机电系统关键技术及其研究进展》PDF+DOC2010年第03期 张冬至,胡国清 《微机电系统的研究及应用》PDF+DOC2008年第07期 丁群燕,曾鑫

    • 介绍了微机电系统的基本原理及其在空间应用的发展概况，着重介绍了空间微传感器、微执行器、RF-MEMS、MOEMS、微仪器和微/纳卫星的研究与进展情况。

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