作者： 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2002年第05期 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2002050120 DOC编号：DOCBDTQ2002050129 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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