《基于全息光栅的CCD位移传感器》PDF+DOC
作者:赵育良,张青臣,李开端
单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版:《传感器与微系统》2002年第02期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGQJ2002020020
DOC编号:DOCCGQJ2002020029
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提出了一种新型的基于全息光栅的CCD位移传感器 ,该系统利用CCD分辨力高、像素均匀等特点 ,对干涉条纹的移动进行精确定位 ,而且全息光栅在测量过程中又具有不受光源波长的影响、适用光谱范围宽等特点 ,实现了位移的自动精确测量。该系统具有一定的实用价值及应用前景
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