作者：卢圣凤,谢铁邦,高咏生,李柱 单位：中国计量测试学会 出版：《计量学报》2002年第03期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJLXB2002030030 DOC编号：DOCJLXB2002030039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 介绍一种新颖的双针表面形貌测量系统 ，它将光学位移传感器和触针位移传感器巧妙地结合在一起 ，从而具有接触和非接触两种测量手段。与单一测量模式的表面形貌测量仪器相比 ，它的性能价格比更高 ，应用范围更广。该测量系统已投入实用 ，接触测量模式下其垂直测量范围和垂直分辨率分别是 1mm和 10nm ，非接触测量模式下分别是 5 0 0 μm和 3nm。实践证实 ，该系统使用灵活 ，可靠性高

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