《浅谈MEMS技术——(微电子机械系统)》PDF+DOC

📙 相关资料

1. 《宽响应范围的MEMS热电偶真空度传感器》PDF+DOC 报道了一种基于双层多晶硅材料的MEMS热电偶真空度传感器。该器件采用双层热偶排布方式可进一步减小器件横向尺寸，同时采用XeF_2各向同性正面刻蚀技术释放形成微腔结构，该技术避免了湿法腐蚀工艺复杂、不易控制等缺陷。在器件制备的基础上，对该器件在不同真空度条件下的响应特性进行了测试，测试结果表明该器件在......
2. 《MEMS加速度计的振动校正》PDF+DOC 高性能MEMS加速度计为各种集成惯性测量的应用提供低成本解决方案。具体例子包括：导航和AHRS系统，用于机器健康状况检测的振动监控，基础设施的结构健康状况监控，以及用于平台稳定、井下定向钻探的倾斜监控、施工行业平路机和勘测设备的调平、吊车稳定系统吊杆倾角测量的高精度倾角计。在大多数此类例子中，加速度......
3. 《MEMS传感器现状及应用》PDF+DOC MEMS传感器种类繁多，发展迅猛，应用广泛。首先，简单介绍了MEMS传感器的分类和典型应用。其次，对MEMS压力传感器、加速度计和陀螺仪三种最典型的MEMS传感器进行了详细阐述，包括类别、技术现状和性能指标、最新研究进展、产品，及应用情况。介绍MEMS压力传感器时，给出了国内外采用新型材料制作用于极......
4. 《微电子机械系统(MEMS)发展展望》PDF+DOC 本文对ＭＥＭＳ技术的发展概况进行介绍，对涉及的科学技术问题进行讨论，并扼要论述其重要意义...
5. 《MEMS传感器在高过载低量程测试中的应用》PDF+DOC 在动态测试领域高过载低量程测试一直是未能彻底解决的问题，MEMS 传感器为解决这一难题提供了有效的技术手段。文中论述了 MEMS 传感器原理，介绍了 MEMS 传感器在高过载低量程测量中的应用。...
6. 《数字式MEMS加速度传感器ADXL202及应用》PDF+DOC 介绍了一种新型的加速度传感器ADXL202。具体分析了该传感器的工作原理，讨论了提高测量精度的应用要点。介绍了一种实用的参数标定的方法以及加速度计设计中的参数计算方法，并给出了在非线性油膜力试验中具体应用的实例。实践证明ADXL202非常适合于频率变化较为缓慢、加速度不太大的测量。...
7. 《MEMS微加速度与微角速率集成传感器的研制》PDF+DOC 介绍了一种全新的MEMS微型惯性器件，该器件是一种基于热对流原理的热膜式传感器，它利用一个单敏感元件同时测量加速度和角速率。该器件由一个加热器和两组微型温度传感器组成，加热器加热气体形成的热对流气体作为敏感元件，该器件通过微型温度传感器测得的热对流气体的温度差实现加速度和角速率的测量。分析了器件的工......
8. 《加速计也能测量倾角》PDF+DOC 测试专家分享数据采集和分析方面的宝贵经验并不是所有的加速计都通过压电或压电电阻效应测量加速度，微型传感器就是利用微电子机械系统(MEMS)或热传导集成电路来测量加速度的。MEMS加速度计内装有半导体材料组成的类似交织蜂窝状组织的悬臂结构，如下图所示。固...
9. 《基于DSP的数字式MEMS加速度传感器ADXL203的设计与应用》PDF+DOC 介绍了一种新型的加速度传感器ADXL203。具体分析了该传感器的性能与工作原理，并且通过TI公司的TMS320LF2407DSP实现了输出信号的处理和分析。设计了三轴的加速度的测量，进而确定物体运动的位移与轨迹。...
10. 《差分式MEMS面内加速度计设计》PDF+DOC 设计了一种新型差分式大量程MEMS加速度计，实现了面内大过载信号的测试。首先利用MATLAB软件结合理论原理，设计了具体的结构参数，利用ANSYS有限元分析软件验证了结构设计的合理性。将本差分式MEMS面内加速度计结构用于集成三轴传感器，3个敏感质量块可以分别感应3个方向的加速度而不会相互影响，可以......