作者：程秀兰,蔡炳初,徐东,陈鉴,王莉 单位：中国电子科技集团公司第48研究所 出版：《微细加工技术》2002年第02期 页数：10页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFWXJS2002020130 DOC编号：DOCWXJS2002020139 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《微流体控制系统研究及其应用前景》PDF+DOC2006年第12期 车志刚,熊良才,龙芋宏,史铁林 《微流动系统的发展概况》PDF+DOC2000年第04期 尹执中,胡桅林,过增元 《微流量测量与控制系统》PDF+DOC1998年第03期 王晓浩,周兆英,叶雄英,张文栋 《MEMS与智能化流体力学》PDF+DOC2000年第S1期 崔尔杰 《MEMS微型气体富集器的研究进展》PDF+DOC2009年第05期 杜晓松,肖华,蒋亚东 《引信用微压阻式加速度传感器系统设计》PDF+DOC2005年第03期 张菁华,石庚辰,隋丽 《微通道式PCR芯片温度的研究》PDF+DOC2004年第04期 贾晓宇,牛志强,陈文元,张卫平 《中国微纳制造研究进展》PDF+DOC2008年第11期 王立鼎,褚金奎,刘冲,罗怡 《基于MEMS技术的硅微机械流体传感器的原理及应用》PDF+DOC2007年第03期 张树生,韩克江,成健 《分子印迹型薄膜体声波谐振毒品检测传感器》PDF+DOC2013年第09期 陈剑鸣,吕启蒙,吴光敏,楚合群,John D Mai

    • 基于硅结构的微流体控制系统 (μFCs)是微机电系统 (MEMS)中的一个重要分支 ，可广泛用于生物、医学、化工、电子等领域。主要综述了微流体控制系统中的微流体传感器、微型泵、微型阀的工作结构原理及其国内外研究现状 ，同时还探讨了集成微流体控制系统的研究现状。

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