作者：童志义,赵晓东 单位：中国电子科技集团第四十五研究所 出版：《电子工业专用设备》2002年第04期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDGZS2002040020 DOC编号：DOCDGZS2002040029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 介绍了MEMS器件的发展历史 ，国内外研究和应用现状 ，对国内外差距进行了比较 ，给出了MEMS器件今后的一些发展趋势。同时 ，提出了推进MEMS器件产业化的建议

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