《磁控溅射TiN膜并智能化处理的液位传感器研究》PDF+DOC

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2. 《溅射薄膜压力传感器敏感元件的制作工艺研究》PDF+DOC 磁控溅射技术以其在制备薄膜中的独特优点，成为获得高性能薄膜材料的重要手段。采用掩膜法溅射的方法制作薄膜压力传感器敏感元件的电阻层，发现了掩膜法溅射在制作小间距线宽的弊端，引入了先溅射后光刻的制作工艺，实验结果表明，该方法能成功制作出所需的电阻图形。...
3. 《高精度薄膜压力传感器的研制》PDF+DOC 从理论上分析了薄膜压力传感器误差产生的原因，针对封闭全桥的热零点漂移和热灵敏度漂移采取了不同的方法进行补偿。在某一桥臂上并联温敏电阻补偿热零点漂移；在恒压源产生电路中接入温敏电阻调节恒压源的温度系数以补偿热灵敏度漂移。温敏电阻均采用离子束溅射工艺制作在压力敏感芯片上。给出了各个电阻的计算公式和选取原......
4. 《合金薄膜电阻应变式压力传感器的研究进展》PDF+DOC 综述了合金薄膜应变压力传感器的现状、发展趋势、技术关键及应用情况。合金敏感薄膜电阻在应变压力传感器上的应用克服了粘贴式应变压力传感的缺点，使压力传感器结构更精细，性能更优越，适应各种恶劣环境测量压力的要求。...
5. 《基于MEMS压力传感器的研究》PDF+DOC 提出了一种新型高精度高温压力传感器，此压力传感器以硅片为弹性片，敏感材料为Ni-Cr合金，利用溅射合金薄膜压力敏感元件和先进的加工工艺技术制作而成。对溅射薄膜压力传感器弹性膜应变进行理论和三维有限元分析，再用先进的软件ANSYS模拟弹性膜片的应变分布，研究应变与膜的大小、厚度的关系。最后确定敏感电阻......
6. 《超磁致伸缩薄膜/光纤的制备及其磁探测性能》PDF+DOC 采用磁控溅射工艺在光纤表面制备了厚度均匀的TbDyFe超磁致伸缩薄膜。利用马赫 曾德尔干涉仪对TbDyFe超磁致伸缩薄膜/光纤传感器的磁探测性能进行了实验测试。结果表明：在调制频率f=1kHz附近，传感器对磁场具有最大的信号响应；在恒定直流磁场及调制磁场强度小于1kA/m的条件下，输出信号大小随调制......
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8. 《NiCr/NiSi薄膜热电偶传感器的研制及有限元模拟》PDF+DOC 采用磁控溅射法，在刀具材料为W18Cr4V高速钢的后刀面上镀制了NiCr/NiSi薄膜热电偶。传感器既能满足切削要求，同时又能够快速采集温度信号，并对其进行了静态和动态标定，实验范围内线性误差为0.56%，时间常数为12.7 ms，响应迅速，满足实验要求。最后用ANSYS对传感器的瞬态响应和温度场分......
9. 《基于MEMS的力传感器薄膜应变计加工工艺》PDF+DOC 提出了在铝合金基体上磁控溅射80Ni20Cr薄膜电阻应变计的加工工艺，说明了其工艺的实现步骤。采用低弹性模量的铝合金制作力传感器的弹性体可以提高力/力矩传感器的灵敏度。提出了一种适合MEMS加工的全平面的力/力矩传感器弹性体结构。并介绍了薄膜电阻应变计构成的微型六维力传感器和薄膜厚度的测量手段。通过......
10. 《中频磁控溅射制备锰铜传感器用合金薄膜的工艺》PDF+DOC 利用镀膜技术制作锰铜传感器，可以实现传感器的超薄化，提高传感器的灵敏度和线性度。改变溅射功率参数，采用中频磁控溅射技术在玻璃(SiO2)衬底上制备出一系列锰铜镍合金薄膜，重点研究沉积条件对薄膜式锰铜传感器薄膜结构、表面形貌等性能的影响。采用三维形貌仪测试薄膜厚度和计算沉积速率；采用原子力显微镜(AF......