作者：王魁汉,吴玉锋,高玉栋,赵伟民,陈炳南,曲军 单位：中国机械工业集团公司;沈阳真空技术研究所 出版：《真空》2002年第06期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZKZK2002060120 DOC编号：DOCZKZK2002060129 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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