作者：王玉英 单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 出版：《光机电信息》2002年第11期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGJDX2002110050 DOC编号：DOCGJDX2002110059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 1 引言 近年来，利用小型、集成化的微型光学系统的传感技术在微机械领域得到了长足的发展（见表1）。利用微细加工技术使批量生产和降低成本成为可能，而光学元件、电子元件和微机械元件的集成化可望实现高功能化和智能化，从而人们期望这些元件在工业方面得到广泛应用。光学元件的集成形式有光波导型、在硅基底上自由配置光学元件的自由空间型和混合型三种。在制作方法上，分为只利用程序加工技术集成光学元件的单片集成和将一部分光学元件表面组装在一起的混合集成两种。单片集成不需对每个光学元件准直，一次即可批量生产。而混合集成则具有将

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