《微硅加速度计技术综述》PDF+DOC
作者:顾英,赵连元
单位:北京市海鹰科技情报研究所
出版:《飞航导弹》2002年第09期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFFHDD2002090140
DOC编号:DOCFHDD2002090149
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综述了微硅加速度计的发展概况 ,叙述了力平衡式微硅加速度计的基本原理、国外一些厂家的研制情况和对战术级微型惯性测量装置的推动作用 ,提出了对发展硅微加工技术的初步想法
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