作者：卢圣凤,李柱 单位：中国机械工程学会 出版：《中国机械工程》2002年第18期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZGJX2002180040 DOC编号：DOCZGJX2002180049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 一种用于表面形貌测量的复合测量位移传感器 ，它将接触式触针传感器和非接触式光学传感器巧妙融合在一起 ，使得一个表面形貌测量位移传感器同时具备接触和非接触两种测量手段。其特点是利用了一个触针—反射镜测杆机构 ，将激光聚焦光束直接在被测工件表面扫描转换为对测杆上固接的反射镜扫描。其垂直测量范围 1 mm，垂直测量分辨率 5nm。该传感器工作稳定可靠 ，使用灵活 ，可广泛用于研究机构和工业现场等进行表面形貌测量

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