作者：李志全,朱丹丹 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2002年第04期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2002040130 DOC编号：DOCCGJS2002040139 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 本文论述了一种新型基于垂直干涉的位移传感器 ，该装置在麦克尔逊干涉仪的基础上 ，采用了一个臂 ，参考光与信号光共用一条光纤路径 ，气隙距离为待测距离。系统抗干扰能力很强 ，结构简单。分辨率为 5 nm。

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