作者：褚丹雷 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2002年第02期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2002020070 DOC编号：DOCBDTQ2002020079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《非接触式压力微传感器的设计》PDF+DOC2001年第12期 褚丹雷 《一种MEMS电容式压力传感器的模糊稳健设计》PDF+DOC2017年第03期 康杰,谭晓兰,张久超 《MEMS压力传感器的可靠性评价方法》PDF+DOC2013年第05期 鲍芳,张德平 《一种用于胎压监测的MEMS压力传感器设计》PDF+DOC2015年第10期 张鉴,戚昊琛,杨文华,黄正峰,胡智文 《MEMS器件的计算机辅助设计与模拟》PDF+DOC2001年第04期 孙克豪,钱劲,张立宪,余同希,赵亚溥 《MEMS传感器的真空密封技术》PDF+DOC2005年第03期 曾大富,刘建华,罗驰 《汽车MEMS传感器的应用及发展》PDF+DOC2002年第03期 吴雄 《硅谐振式压力微传感器模型与开环特性测试》PDF+DOC2007年第02期 王莹莹,樊尚春,邢维巍,蔡晨光 《MEMS压力传感器现状及其在弹药上的应用》PDF+DOC2013年第02期 姜波,齐杏林,赵志宁,吕静 《MEMS压力传感器今年将再度强劲增长,受汽车与手机领域推动》PDF+DOC2013年第05期

    • 非接触式压力传感器利用特殊的机械结构，大大改善了传统接触式压力传感器工作区域狭小，线性度较差等问题，使压力传感器在高载荷条件下，由小扰度向大扰度过渡时，不产生非线性跳变，从而大大提高了器件的稳定性与动态特性。

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