《电容式加速度传感器结构的计算机仿真》PDF+DOC

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2. 《基于MEMS技术的微电容式加速度传感器的设计》PDF+DOC 给出了一种基于MEMS技术制作的微电容式加速度传感器的结构及工艺。为了准确地把握这种微电容式加速度传感器的力学和电学特性，仔细地建立了它的力学模型。在此基础上，详细分析了它的动态特性———模态。并用有限元的方法分析和计算了微电容式加速度传感器的加速度与电容信号的非线性输入输出关系，并结合实测参数验证......
3. 《微机械热对流加速度传感器可靠性研究》PDF+DOC 介绍了一种新型的微机械加速度计———热对流加速度计的工作原理及加工制造工艺。由于加速度计由单晶硅腔体、加热器和两只在加热器两侧并与加热器等距的温度传感器构成 ，其本身没有活动部件 ，因此这种加速度计的抗冲击能力几乎达到材料本身的强度。本文通过实验的方法验证了这种加速度计能适应各种恶劣环境 ，为器件的......
4. 《一种新型电容式加速度传感器敏感电极的研究》PDF+DOC 针对现有加速度传感器在测试时相对于高冲击后可能导致丧失高灵敏度的性能，提出了一种新型电容式加速度传感器.该传感器利用水银作为液体敏感电极代替传统的固体敏感电极，结构简单.实验证明：该传感器性能良好，线性度为6.52%，灵敏度为0.501 p f/g，重复性为1.45%，可广泛应用于抗高过载低量程方面......
5. 《微机械电容式加速度传感器测试电路研究》PDF+DOC 在测量硅微电容式加速度传感器时，由于器件信号的微弱和寄生电容的干扰，提高加速度的稳定性和分辨率非常困难.针对这种情况，作者分析对比开关性和调制解调型两种常见微弱电容检测方法优缺点，并提出了一种微电容检测的改进电路，用此电路对电容式加速度传感器进行了测试.数据表明，微加速度计灵敏度为1.63V/gn，......
6. 《用单片加速度传感器IC制作加速度测试仪》PDF+DOC 该加速度测试仪是为了对某些产品进行冲击试验而制作的。该加速度测试仪使用了由微机械加工技术制造的单片加速度传感器ADXL50(AD公司生产)。 这是一种在硅片上安装有微型机械弹簧、通过检测该微型机械弹簧的移动测试出物体的加速度的集成电路。与过去应用压电效应制作的加速度计不同的地方主要有传感器体积小、方......
7. 《微机械电容式加速度传感器仿真分析》PDF+DOC 微机械加速度传感器的检测模态特征频率和有效量程是进行传感器设计时必须要考虑的2个重要参数。文中在对传感器检测模态频率进行有限元分析的基础上，利用电路仿真软件Multisim对传感器等效电路进行了谐振频率分析，并根据线性度指标求得了传感器的有效量程，为微机械加速度传感器的设计提供了参考。...
8. 《力学中加速度及其测量方法的研究》PDF+DOC 讨论了加速度与受力、运动方向之间的关系。对几类测量加速度的微机械式加速度传感器进行了讨论，并针对每种类别分别选取一种典型的结构，分析了内部的工作原理。通过比较各类传感器的差异和联系，总结了一般加速度传感器的共同特征。...
9. 《光弹效应的三分量光弹波导加速度传感器》PDF+DOC 为了实现强电磁场环境下的三维地震高精度勘探，提高油气产量和油气开采率，设计了三分量光弹波导加速度传感器。利用光弹原理设计出可检测加速度的3个轴向分量的集成光路及组合式三分量谐振子，达到了降低加速度各分量串扰的目的。依据LiNbO3光波导相位变化规律对影响该串扰的交叉轴灵敏度和横向灵敏度比进行了分析，......
10. 《基于共振隧穿二极管的微加速度传感器设计》PDF+DOC 介绍了共振隧穿效应，并在此基础上利用共振隧穿二极管(RTD)设计了共振隧穿压阻式的微加速度传感器实验检测方案。对所设计的微加速度传感器进行加速度的电压输出线性度、频率响应以及不同偏压下加速度计的灵敏度等进行全面系统测试，并且进行了高低温试验、冲击响应对比分析等相关试验。研究结果为共振隧穿加速度传感器......