作者:岳瑞峰,刘理天 单位:中国仪器仪表学会 出版:《仪器仪表学报》2002年第S2期 页数:2页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFYQXB2002S20610 DOC编号:DOCYQXB2002S20619 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 制造了一种集成PMOS环振式压力传感器,给出了它的结构、制造方法和初步的测试结果。

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