《集成PMOS环振式压力传感器》PDF+DOC
作者:岳瑞峰,刘理天
单位:中国仪器仪表学会
出版:《仪器仪表学报》2002年第S2期
页数:2页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYQXB2002S20610
DOC编号:DOCYQXB2002S20619
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制造了一种集成PMOS环振式压力传感器,给出了它的结构、制造方法和初步的测试结果。
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