《热激励硅谐振式压力传感器温度场的有限元计算》PDF+DOC

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2. 《热激励谐振式硅微结构压力传感器》PDF+DOC 对一种以方形硅膜片作为一次敏感元件 ，硅梁作为二次敏感元件的热激励硅谐振式压力微传感器进行了较系统的研究 ：建立了微传感器敏感结构的工程用数学模型 ；以所建立的模型实际设计了敏感结构参数 ：方形膜边长 4 mm，膜厚 0 .1 mm，梁谐振子长...
3. 《热激励谐振式硅微结构压力传感器》PDF+DOC 针对一种以矩形硅膜片为一次敏感元件、硅梁谐振子为二次敏感元件采用电阻热激励、压敏电阻拾振的谐振式压力微传感器 ，简述了其工作机理 ；从谐振式硅微传感器整体优化设计、闭环系统优化设计、微弱信号检测、敏感元件工艺实践、开环特性测试等方面介绍了该传感器研究与研制过程中近期取得的阶段性研究结果...
4. 《谐振式硅微结构压力传感器非线性振动特性研究》PDF+DOC 本文研究了谐振式硅微结构压力传感器在单频激励和双频激励情况下的非线性振动特性。利用多尺度法研究运动方程中三次非线性项对传感器频率特性的影响规律，提出了改善谐振式硅微结构传感器特性的方法以及在实现闭环自激系统时应采取的措施。...
5. 《谐振式硅微结构传感器综合测试分析仪》PDF+DOC 提出了一种谐振式硅微结构传感器综合测试分析仪器，用于微机械谐振式传感器各关键环节的测试、分析与评估。主要解决测试对象特性模型、微弱信号处理、测试数据分析评估等问题，并将有关理论和技术集成为一台模块化的、具一定开放性的测试仪器。该测试仪器对于深入掌握谐振式硅微结构传感器谐振子和闭环系统的特性和优化方法......
6. 《关于谐振式硅微结构压力传感器的综合研究》PDF+DOC 谐振式硅微结构压力传感器以其高精度和高稳定性成为多领域测试压力时的首选传感器。本文对近三十年间国内国外对谐振式硅微结构压力传感器的相关研究进行综述，简介其原理与类别，具体分析两种不同芯体的传感器的研究概况，并对芯体不同传感器的激励方式和检测方式进行对比，分析各自的特点，最后展望谐振式硅微结构压力传感......
7. 《基于E型圆膜片的复合差动谐振式敏感元件》PDF+DOC 对以E型圆膜片为一次敏感元件、一对对称的硅梁谐振子为二次敏感元件的复合差动敏感元件的力学特性进行了分析。给出了其敏感压力、差压、集中力与加速度时，梁谐振子固有频率随被测量变化的解析计算模型。...
8. 《圆筒谐振式密度传感器的计算及有限元分析》PDF+DOC 谐振式传感器是一种新型高精度的传感器。选用薄壁圆筒作为谐振子 ，设计了短管谐振式密度传感器。用有限元法建立了圆筒谐振子的模型 ，通过MATLAB软件编程 ，计算出合理的谐振子参数 ，对其频率密度特性进行了分析 ，并给出了振子的振型分布。仿真结果表明 ，传感器系数为K0 =- 181 5...
9. 《硅微谐振式压力传感器测试方法研究》PDF+DOC 为了解决硅微谐振式传感器输出信号测试设计周期长，费用高；测试过程时间长，误差大的问题引入了了组合是敏感方法和压阻变换的原理。作为测试压力传感器的重要方法，本文介绍了上述方法的相关验证实验，最后针对实验结果做了简要分析。...
10. 《谐振式压力传感器驱动仿真研究》PDF+DOC 谐振式传感器由于其重量轻、精度高、响应快在压力测量领域获得了飞速发展，传感器的构成包括机械谐振子在内的机电一体的谐振系统，而驱动系统对保持机械谐振器振荡的稳定性和可靠性起着重要作用。本文针对一种典型结构的谐振式压力传感器，分析比较了不同的闭环驱动结构，最后构建了其行为级闭环自激仿真模型，在MATLA......