作者：刘庆海,黄见秋 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2015年第03期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2015030050 DOC编号：DOCCGJS2015030059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《多晶硅应变因子计算研究》PDF+DOC 王健,江健,穆罕默德 《低侧向效应MEMS压阻式加速度传感器》PDF+DOC2020年第01期 王鹏,杨帆,王楠,王明武,梁应选 《三维微力探针传感器技术研究》PDF+DOC2009年第02期 王鑫垚,吴伟,林启敬,赵玉龙 《MEMS器件常用微弱信号检测技术研究》PDF+DOC2010年第02期 杜晓强,吴柯锐 《基于介观压阻效应的硅微加速度计研究》PDF+DOC2007年第08期 吴瑞,温廷敦 《介观压阻效应在硅微加速度计中的应用》PDF+DOC2007年第29期 王辉,吴瑞,温廷敦 《表面应力测量SOI压阻悬臂梁传感器设计与优化》PDF+DOC2006年第10期 庄志伟,王喆垚,刘理天 《一种MEMS压力传感器的标定和温度补偿方法》PDF+DOC 沈晓春,刘利,周飞 《基于非晶碳膜压阻效应的MEMS压力传感器研究》PDF+DOC2020年第06期 马鑫,张琪,郭鹏,同笑珊,赵玉龙,汪爱英 《微机械生化传感器》PDF+DOC 于晓梅,尚庆虎,江兴流

    • 提出一种基于表面微机械工艺的MEMS温度传感器，其基本原理是：由于材料热膨胀系数的差异，复合悬臂梁在热应力作用下发生弯曲，进而影响压阻单元中的应力分布，压阻变化通过惠斯登电桥读出，由电桥输出电压变化表征温度的变化。相比于其他温度传感器，这种微机械温度传感器的灵敏度高、尺寸小、精度高。针对提出的温度传感器结构，文中给出了传感器的设计原理、制备工艺以及信号检测电路的设计。经测试，传感器的灵敏度为9.2 m V/℃，具有良好的稳定性。

    📙 相关资料

    1. 《多晶硅应变因子计算研究》PDF+DOC 伴随多晶硅力敏电阻在高温压力传感器和微机械传感器上的应用，学者对其压阻效应原理进行深入研究。本文论述了P型多晶硅隧道压阻模型和应变因子理论计算存在问题，提出了一种应变因子改进算法，与实验结果比较表明该算法的科学性，为多晶硅广泛应用打下一定的理论基础。...
    2. 《低侧向效应MEMS压阻式加速度传感器》PDF+DOC MEMS压阻式加速度传感器是目前最常见的测振器件之一。在某些特殊环境下，加速度信号组成较为复杂，例如机床主轴振动测试系统，可能有多方向加速度信号同时施加到传感器，这就要求设计的传感器具有较低的横向效应，即较小的横向交叉干扰，因此文中研制了一种可以从理论上消除传感器自身横向交叉干扰的MEMS压阻式加速......
    3. 《三维微力探针传感器技术研究》PDF+DOC 结合光纤探针与四悬臂梁支撑结构的特点，研制了一种基于微探针形式，具有μN级三维微力测量和传感能力的压阻式三维微力探针传感器。通过ANSYS数值仿真的方法研究了传感器结构之间的应力特点。并且通过实验验证了所研制的传感器的综合精度可达到0.2%FS，干扰误差≤0.3%FS。...
    4. 《MEMS器件常用微弱信号检测技术研究》PDF+DOC 文章针对微机械(MEMS)器件中常用的微弱信号检测技术进行了简单的介绍。针对MEMS器件中微弱信号检测所使用的理论方法进行了总结分析，并提出了一些典型、实用的MEMS微弱信号检测电路。...
    5. 《基于介观压阻效应的硅微加速度计研究》PDF+DOC 为了突破传统机电转换局限，提高加速度计灵敏度，提出以介观压阻效应为工作原理制作高灵敏度的硅微加速度计，基于这种原理设计并制备了GaAs基加速度计，通过理论分析计算与试验测试，得出该结构在0.1gn输入下的输出，并对介观压阻灵敏度和压阻灵敏度的量级作出了比较，验证了采用介观压阻效应制作高灵敏度传感器的......
    6. 《介观压阻效应在硅微加速度计中的应用》PDF+DOC 为了突破传统机电转换局限，提高加速度计灵敏度，提出以介观压阻效应为工作原理制作高灵敏度的硅微加速度计，基于这种原理设计一种四梁岛结构，通过理论分析与仿真计算，得出该结构在1gn输入下的输出，并对介观压阻灵敏度和压阻灵敏度的量级作出了比较，从理论上验证了采用介观压阻效应制作高灵敏度传感器的可行性，为此......
    7. 《表面应力测量SOI压阻悬臂梁传感器设计与优化》PDF+DOC 研究了基于SOI(silicononinsulator)工艺的压阻悬臂梁传感器的静态和动态特性，推导了其用于表面应力测量时灵敏度和分辨率的表达式.分析了各种参数对性能的影响，提出了参数设计与优化的流程.得到了一套灵敏度为-1&#183；8&#215；10-3m/N，分辨率为8&......
    8. 《一种MEMS压力传感器的标定和温度补偿方法》PDF+DOC 本文介绍了一种MEMS芯片的压力传感器的标定和补偿方法，分析了传感器的结构原理和常见补偿方式，详述了采用的标定和补偿方法，并通过实验进行了验证，证明该方法是一种简便有效的方法，能够被广泛使用。...
    9. 《基于非晶碳膜压阻效应的MEMS压力传感器研究》PDF+DOC 目的研究非晶碳膜的压阻性能和机理，并将其作为压敏电阻应用于MEMS压力传感器敏感电路中。方法使用直流溅射工艺制备非晶碳膜压敏薄膜材料，对典型样品进行内部组分和电学、力学、温度等性能测试和研究，使用有限元方法进行器件设计仿真，借助MEMS加工工艺完成非晶碳膜压力传感器芯片的加工，最后进行器件级别的测试......
    10. 《微机械生化传感器》PDF+DOC 自从Clark和Lyons在 196 2年研制出第一个生物传感器以来 ，探测各种生物和化学分子的生化传感器相继问世 .这类传感器的基本原理是通过生化敏感层 ，被分析分子在敏感层上的物理或化学吸附被换能器转化为电信号 .在众多的设计中 ，将活泼的生化敏感材料涂镀在硅器件表面是一个最有新意的设想 .以往......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。