作者：陈文浩,黄见秋 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2015年第03期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2015030030 DOC编号：DOCCGJS2015030039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 提出了一种集成加热结构的电容式湿度传感器结构。对传感器的稳态加热特性进行了分析，并利用红外线热成像技术对传感器加热过程以及稳态温度响应进行了研究。在5 V电压信号的加热下，传感器温度上升约30℃，且温度分布均匀，传感器敏感区域温差&lt；4℃。在加热与不加热条件下，分别对传感器的湿度敏感特性与响应时间特性进行了测试。不加热时，传感器的灵敏度为0.009 13 p F/%r H，回滞≈0.12 p F，响应时间约120.8 s；以5 V脉冲信号加热后，传感器灵敏度为0.009 03p F/%r H，最大回滞≈0.025 p F，响应时间约75.2 s。加热后传感器性能有了显著提高。

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