作者:韩建强,朱长纯,刘君华,魏培永 单位:东南大学 出版:《电子器件》2002年第02期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFDZQJ2002020010 DOC编号:DOCDZQJ2002020019 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 对负压力的测量可采用各种真空计或者负压传感器 ,但其输出量大多为非电量或模拟式电量。本文制作了一种电热激励的微悬臂梁谐振式负压传感器 ,它利用随微悬臂梁振动的气体分子等效于增加微梁惯性质量的原理测量气压或气体密度。利用Navier Stokes方程和连续性方程计算作用在微悬臂梁上的惯性阻力 ,进而计算出谐振器谐振频率与气压的关系。分析表明 :增大梁的宽度 ,减小梁的厚度和长度可提高传感器的灵敏度

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