作者：张铫,戚淑梅 单位：秦皇岛玻璃工业研究设计院 出版：《玻璃》2002年第03期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBLZZ2002030040 DOC编号：DOCBLZZ2002030049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 本文在综述电容传感器的工作原理、结构特点以及灵敏度的基础上，提出一种结构新颖，性能独特的电容式 位移传感器装置，它能够对在线化学气相镀膜反应器喷嘴底面与玻璃板之间的距离进行高精度的实时监测。

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