作者：韩建强,朱长纯,刘君华 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2002年第08期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2002080050 DOC编号：DOCBDTQ2002080059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《传感器技术的新发展——智能传感器和多功能传感器》PDF+DOC1998年第01期 王祁,于航 《智能传感器的设计及其信息处理技术》PDF+DOC2000年第05期 左巍,王雪,赵国华,谢歆 《智能传感器的设计制造趋势》PDF+DOC2000年第02期 王雪,左巍,赵国华 《集成智能传感器的新进展》PDF+DOC1999年第02期 李炳乾,朱长纯,刘君华 《智能传感器及其在家用电器中的应用（上）》PDF+DOC1994年第03期 何刚 《传感器的智能化》PDF+DOC1990年第06期 张福学 《智能化传感器综述》PDF+DOC1990年第06期 梁经才 《电热激励硅谐振器件的研究》PDF+DOC2005年第02期 李炳乾 《电热激励微悬臂梁谐振器输出电压影响因素研究》PDF+DOC2003年第04期 韩建强,朱长纯,刘君华,魏培永 《双谐振器敏感结构谐振式传感器》PDF+DOC2006年第11期 樊尚春,蔡晨光,王莹莹,邢维巍

    • 硅微谐振式传感器具有灵敏度和分辨率高、准数字信号输出、抗干扰能力强的优点，在精确测量领域具有独特的优势。其中，电热激励/压敏电阻拾振的微谐振器与工业IC技术兼容，可将敏感元件与信号调理电路集成在一块芯片上构成功能强大的智能传感器。着重论述了电热激励/压敏电阻拾振的硅微谐振器的几种典型结构及其制造技术，并在此基础上阐述了以该谐振器为敏感元件开发的质量流量、气体、压力、温度和接近传感器等多种谐振式传感器。

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