作者：卞剑涛,颜黄苹,冯勇建,王亚强 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2002年第03期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2002030010 DOC编号：DOCYBJS2002030019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《高性能MEMS电容压力传感器的设计及其热分析》PDF+DOC2010年第05期 吕浩杰,胡国清,邹卫,吴灿云,陈羽锋 《微压力传感器参数设计及灵敏度分析》PDF+DOC2011年第07期 郑玮玮,刘学观,赵光霞 《陶瓷质电容式压力传感器的研制》PDF+DOC 李士忠,石汝军,王成礼,翟鹏 《热效应最低的新型电容压力传感器》PDF+DOC1992年第03期 Peter V.Loeppert,林驹 《电容薄膜规使用中应注意的几个问题》PDF+DOC1989年第03期 李正海 《电容式血压传感器》PDF+DOC1982年第04期 王化祥 《电容式多晶硅微声传感器的模拟与设计》PDF+DOC2004年第01期 霍明学,刘晓为,张铁良,兰慕杰,王东旺 《一种单片集成电容式压力传感器的设计、制造和测试》PDF+DOC2008年第04期 黄晓东,王斌,秦明,黄庆安 《新型接触式电容压力传感器》PDF+DOC2008年第03期 郭强,吕浩杰,胡国清 《MEMS高温接触式电容压力传感器》PDF+DOC2006年第07期 冯勇建

    • 通过对接触式电容传感器结构原理的分析 ，运用ANSYS对传感器膜片在外加压力作用下的接触和大变形等非线性问题进行分析 ，并基于有限元法编写相应的程序 ，直接得出输出电容与外加压力之间的关系。比较实验结果 ，验证了ANSYS对接触式电容压力传感器非线性分析的可行性 ，说明了这一分析方法的实用性

    📙 相关资料

    1. 《高性能MEMS电容压力传感器的设计及其热分析》PDF+DOC 为了进一步提高接触式电容压力传感器的性能，设计了一种高性能双凹槽结构的接触式电容压力传感器，并对该传感器在高温环境中的总体性能进行了分析。推导了热传导和热弹性理论，并对影响传感器热分析的各个因素与温度的依赖关系进行了描述；在整个分析过程中，使用ANSYS软件并结合有限元方法对全尺寸传感器的热效应进行......
    2. 《微压力传感器参数设计及灵敏度分析》PDF+DOC 对传感器的灵敏度理论进行了详细分析，得到了传感器的灵敏度与应力和应变的关系。通过有限元仿真软件对传感器的灵敏度和线性度进行了研究，分析了膜片的厚度、岛的高度和梁膜片的长度对传感器性能的影响，为传感器芯片的设计提供了重要的依据。...
    3. 《陶瓷质电容式压力传感器的研制》PDF+DOC 本试验采用增韧陶瓷试制成功了一种陶瓷质的电容式压力传感器，由于采用干式设计（无填充液），及厚膜电路ＳＭＴ技术和ＰＦＭ信号传输技术，其外型尺寸、灵敏度、稳定性、抗干扰能力等均大幅度改善，特别是其耐腐蚀、易安装，因此具有极大的推广应用价值。...
    4. 《热效应最低的新型电容压力传感器》PDF+DOC 1.前言基于电容原理的压力传感器，特别适用于几个英寸水柱的微小压差测量。为了把热效应降到最低限，而把稳定性提高到最大限度，不采用玻璃—硅夹层式的结构，而采用全硅结构。本文采用的方法是与 CMOS 信号处理电路...
    5. 《电容薄膜规使用中应注意的几个问题》PDF+DOC 本文重点介绍了如何正确使用电容薄膜规才能延长电容薄膜规的使用寿命，保证读 数精度。同时对安装时应注意的问题以及电容薄膜规的工作环境、连接电缆、维修等方 面都作了介绍。...
    6. 《电容式血压传感器》PDF+DOC 一、引言 许多类型的可变电容压力传感器已经问世。并且大多数是金属焊接结构。这种结构是用张紧的膜片式隔膜作为挠曲元件。该类型传感器具有高灵敏度，而且具有随处于两个电极中心的膜片差动形式工...
    7. 《电容式多晶硅微声传感器的模拟与设计》PDF+DOC 设计了一种以多晶硅薄膜作为振动膜片的电容式硅微声传感器。通过有限元法(FEM)对传感器建模，并对其进行静力、模态和谐响应分析。模拟分析结果表明此传感器机械灵敏度可达1.81&#215；10-7m/Pa，其频带宽度接近10kHz。...
    8. 《一种单片集成电容式压力传感器的设计、制造和测试》PDF+DOC 提出了一种新型电容式压力传感器。在外加压力下，该传感器的极板面积、间距以及介质层介电常数均发生改变，并导致电容发生变化。同时介绍了接口电路的设计，该电路基于电容-频率转换原理。该传感器结构简单，实现了与CMOS接口电路集成。传感器采用标准CMOS工艺与后处理工艺相结合的方式制造。结果表明，在800h......
    9. 《新型接触式电容压力传感器》PDF+DOC 与其他类型压敏器件相比，接触式电容压力传感器(TMCPS)有着明显的优点，例如较好的线性，高灵敏度和大过载保护能力等。为了达到更好的性能，设计了一种新型的接触式电容压力传感器(DTMCPS)，这种新型的结构是在传统的TMCPS的底部电极上刻蚀了一个浅槽。与现有的接触式电容压力传感器相比，这种结构可以......
    10. 《MEMS高温接触式电容压力传感器》PDF+DOC 本文介绍了一种用SOI硅片和硅?硅键合MEMS技术制作的高温接触式电容压力传感器，并给出了详细的工艺制作流程。在对测试装置、测试电路进行了详细地介绍和深入分析后，用此测试电路对制作的传感器器件进行了高温测试。测试结果表明，传感器在小于250kPa的室温条件下工作，传感器的灵敏度为0.54 mV/kP......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。