《硅基光波导压力传感器》PDF+DOC
作者:肖素艳,王东红,高明,刘晓为
单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版:《传感器与微系统》2002年第08期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGQJ2002080010
DOC编号:DOCCGQJ2002080019
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硅基光波导压力传感器由于具有灵敏度高、耐高温、抗电磁场干扰能力强、微型等优点 ,特别适合于在特殊环境中的应用。简要介绍了全反射光波导和抗共振反射光波导压力传感器的结构特点、工作原理及其研究现状。
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