《用于地球物理勘探的MEMS加速度传感器》PDF+DOC
作者:张宏乐,曹金栋
单位:中国石油天然气集团公司管材研究所
出版:《石油管材与仪器》2002年第02期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFSYYQ2002020000
DOC编号:DOCSYYQ2002020009
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传统速度检波器由于内在结构的限制 ,其技术性能已不能满足现代高分辨率地震勘探数据采集的要求。美国I/O公司利用MEMS技术研制开发的加速度传感器具有良好的频率响应特性 ,可在检波器内部进行模 /数转换 ,实现检波器数字信号输出。文章对MEMS技术特点及发展现状、MEMS加速度传感器结构及主要技术性能做简要介绍 ,并给出了传统检波器与MEMS加速度传感器野外数据采集的具体实例
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