作者：刘如净,张之圣,胡明 单位：中国仪器仪表学会 出版：《仪器仪表学报》2002年第S1期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYQXB2002S11040 DOC编号：DOCYQXB2002S11049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 提出了一种将铁电材料与 MEMS集成的新趋势 ，并介绍了几种在这种趋势下应运而生的最新的微传感器和微执行器

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