作者： 单位：武汉普天电源有限公司 出版：《通信电源技术》2002年第06期 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFTXDY2002060040 DOC编号：DOCTXDY2002060049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 微型传感器 微型传感器是指采用微电子机械加工技术制作的，芯片的特征尺寸为微米级的各类传感器的总称。它是当代先进的微电子机械系统(MEMS)的重要组成部分。 目前，国外已批量生产的微型传感器有压力传感器、加速度传感器、微型陀螺等。2003年销售额将达到65亿～115亿美元，其中各类微型传感器的总销量将达到9.25亿～14.75亿只，年销售额

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