《高精度扩散硅绝对压力计的研制》PDF+DOC
作者:张秀珍,孙正鼐,马秀娟
单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版:《传感器与微系统》2002年第06期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGQJ2002060060
DOC编号:DOCCGQJ2002060069
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采用扩散硅绝对压力传感器为检测部件 ,研制出高精度绝对压力计 ,重点介绍绝对压力计的工作原理及为提高仪表精确度所进行的温度补偿。
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